Omega™ 高速卷对卷空间原子层沉积系统-复纳科技

全球首个高速卷对卷空间原子层沉积 (ALD) 系统

先进的下一代产品制造工艺是加速能源转型的关键。原子级精度、控制和可扩展的涂层技术至关重要，而这正是 SparkNano 推出其最新创新成果的原因：全球首个高速卷对卷空间原子层沉积 (ALD) 系统。

SparkNano Omega™ 可实现柔性薄膜卷材的工业化生产，产品范围涵盖锂离子电池到钙钛矿太阳能电池等。它支持最大宽度 1.5 米的卷材，最高运行速度可达 100 米/分钟，并能实现清洁高效的加工，最大限度延长正常运行时间。SparkNano Omega™ 在大气压下运行，专为连续、高性能的在线工业生产而优化。

SALD Advantage

空间ALD技术优势

传统ALD技术 VS 空间ALD技术
项目	传统 ALD（Traditional ALD）	空间 ALD（Spatial ALD，Our solution）
技术特点	可实现高质量三维薄膜，适用于多孔基底	结合空间分离与专有等离子体增强沉积技术
沉积质量	膜层质量高、均匀性好	膜层质量高，同时兼顾高速沉积
沉积速度	沉积速率受限	沉积速度比传统 ALD 快约 100 倍
处理面积/规模	可处理基底尺寸有限	可扩展至大面积基底及卷对卷（Roll-to-Roll）工艺
反应腔壁沉积	存在腔壁沉积	无反应腔壁沉积
前驱体利用率	前驱体利用率较低	未反应前驱体可回收再利用
图形化能力	需掩膜或后处理	支持无掩膜图形化沉积
前驱体效率	较低	前驱体利用效率极高

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Product Specifcation

规格参数

总体指标
设备定位	面向新兴能源技术设计，用于在金属或聚合物基材上实现精确、均匀、可扩展的薄膜沉积
核心工艺	空间原子层沉积（Spatial ALD, S-ALD）
技术原理优势	通过基板移动与空间分离的气体反应区实现沉积（直观可见），无需泵送和吹扫循环
沉积效率	沉积速度比传统时间序列 ALD 快 100 倍以上
运行特性	支持高效、可持续、连续化运行
适用领域	新能源器件制造、功能薄膜连续涂覆、工业化卷对卷生产
幅宽	0.3-1.5m（可定制）
卷速	最高100m/min

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Application Area

应用领域

氢能/燃料电池
锂电池
太阳能电池
光电

氢能/燃料电池

空间原子层沉积（ALD）可用于电解槽和燃料电池的电极、多孔传输层（PTL）、气体扩散层（GDL）和膜的涂覆。例如，在具有高比表面积的载体上涂覆薄催化剂层（如氧化铱和铂），可在最大限度提高电化学性能和稳定性的同时，将贵金属负载量降低10-50倍。其他用途包括在电极上涂覆防腐蚀层，以提高其稳定性和使用寿命。

锂电池

空间原子层沉积（ALD）技术可用于在电池电极上涂覆超薄且均匀的材料层，从而提高可充电电池的能量密度、充电速度、安全性和使用寿命。这些涂层的厚度可以从几个原子层到几纳米不等。此外，固态电池和3D电池等新型电池概念也将受益于ALD涂层技术。使用SparkNano的LiF涂层技术可有效提升电池200%的循环使用寿命。可用的沉积方式包括 AlOx / Nboxide / LIF 等。

新型电池需要极薄的保护涂层来防止电极劣化，从而避免电池循环寿命的快速缩短。由于这些电极通常具有高度多孔性，原子层沉积（ALD）是制备这些保护膜的最佳方法之一。ALD技术能够沉积保形且精确的涂层，有利于提升电池中多孔阳极和阴极的性能和耐久性。无论是增加电化学反应的表面积、提供保护层，还是改善多孔结构内的离子传输，空间ALD都为优化电池内部组件提供了一种多功能工具。

太阳能电池

空间原子层沉积可用于在c-Si太阳能电池中沉积钝化层，在各种薄膜太阳能电池中沉积封装层，以及在钙钛矿串联电池中沉积界面层，所有这些目的都是为了提高太阳能电池的效率或延长其寿命。可沉积的物质例如有AlOx/SnO2/ZnO。

由于钙钛矿太阳能电池具有高效率和潜在的低制造成本，因此有望成为光伏能源发电的未来；无论是单结、异质结，还是与 c-Si 或其他薄膜吸收体串联配置。空间原子层沉积（ALD）技术在钙钛矿太阳能电池中应用越来越广泛，以提高效率和延长寿命。例如，空穴和电子传输层（如SnO2、TiO2、ZnO和NiO）、超薄Al2O3钝化层和封装层等。