保护膜表面颗粒物快速检测系统 PDS

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Fastmicro PDS

保护膜表面颗粒物快速检测系统

为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板（衬底）制造工艺，提供高通量的表面颗粒污染检测服务。

该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度，是一种高效且提供全方位服务的选择。它能以手动或自动的操作方式，以及较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统。

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