晶圆表面颗粒物快速检测系统 PDS

Fastmicro PDS

晶圆表面颗粒物快速检测系统

Fastmicro 晶圆表面颗粒物快速检测系统，专为各行业产品表面颗粒污染物直接测量而设计，主要应用于半导体领域的晶圆、薄膜及光罩检测，也可用于显示市场等基板检测。该系统配备 4-12 英寸视场（FOV）扫描区域，支持上下表面检测。其独特光学设计使产品在计量过程中无需移动即可完成检测。该系统可根据不同生产工艺需求进行定制，或直接集成至产线。