可视化颗粒检测 - 产品展示 - 复纳科学仪器（上海）有限公司官方网站

Product Presentation

产品展示

符合 ISO 14644-9 标准

检测范围：可检测低至 0.5 um 颗粒

稳定：90% 采集效率 | >90% 重复性

快速：10 秒完成检测

数据输出及可视化：符合 ISO 14644-17 标准

高通量检测：可检测低至 0.5 um 颗粒

快速：10 秒完成 2 英寸面积检测

定量：适用于生产与研发环境的验证与监测

高通量检测：每小时可检测 400 片晶圆

最小检测颗粒：200 nm

尺寸：支持 4/6/8/12 英寸晶圆

位置精度：重复定位精度 15 um

检测：同时检测正反两面，无需翻面

每小时可检测 400 片晶圆（WPH）

数据输出：根据 ISO 14644-9 标准

正反两面检测：单次测量中完成正反两面检测（无需翻转）

检测范围：能够检测 ≥ 0.2µm 聚苯乙烯乳胶（PSL）等效颗粒（经 NIST 认证）

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