离子研磨仪在半导体失效分析中的应用案例分享
作者:复纳科技
行业:电子半导体
产品: SEMPrep2 离子研磨仪
关键词:失效分析;离子束技术;SEM 样品制备
日期:2022-04-04

失效分析是对于电子元件失效原因进行诊断,在进行失效分析的过程中,往往需要借助仪器设备,以及化学类手段进行分析,以确认失效模式,判断失效原因,研究失效机理,提出改善预防措施。其方法可以分为有损分析,无损分析,物理分析,化学分析等。其中在进行微观形貌检测的时候,尤其是需要观察断面或者内部结构时,需要用到离子研磨仪+扫描电镜结合法,来进行失效分析研究。

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