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超薄 TEM 制样新范式｜Gentle Mill 精修仪赋能优质数据
作者：复纳科技
产品： Gentle Mill 离子精修仪
关键词：TEM，TEM 制样，FIB 精修，离子精修，gentle mill
日期：2025-04-03
在材料科学和纳米技术领域，精确制备高质量的透射电子显微镜（TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）样品是实现原子级分辨率成像和分析的关键。Technoorg Linda 公司生产的 Gentle Mill 离子精修仪以其卓越的低能量离子束技术，为科研人员提供了一种高效、清洁的样品精修解决方案，广泛应用于各种材料的微观结构和性能研究。本文精选了 11 篇使用 Gentle Mill 离子精修仪发表的文献期刊（排名不分先后），展示了该设备在材料科学领域的广泛应用和显著成就。
01. 钙钌氧化物超薄膜中异常尺寸效应的增强
关键词：超常尺寸效应，超薄膜，CaRuO3
发表文章：Enhancement of Extraordinary Size Effect on CaRuO3 Ultrathin Films
发表期刊：ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS
原文链接：https://doi.org/10.1002/aelm.202201312
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员利用 Gentle Mill 离子精修仪制备了超薄、清洁的钙钌化物样品，并通过原子分辨率的 STEM 观察，深入探究了其异常尺寸效应的增强现象。该研究借助 Gentle Mill 的低能量 Ar 离子束（0.3–1 keV）对样品进行精修，成功去除了样品表面的损伤层，为后续的高分辨率成像提供了高质量的样品。
02. 通过 STEM 进行 InGaN 的成分 mapping 分析
关键词：定量 STEM 分析，成分确定，多层切片模拟，冷冻晶格模拟
发表文章：Composition mapping in InGaN by scanning transmission electron microscopy
发表期刊：Ultramicroscopy
原文链接：https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2011.04.009
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员使用 Gentle Mill 离子精修仪制备了清洁的 InGaN 样品，并通过原子分辨率观察，探索了一种使用完全定量 STEM 成像进行 In 浓度 mapping 分析的方法。Gentle Mill 在该研究中用于去除样品表面的损伤区域，确保了样品的高质量和分析结果的可靠性。
03. 铟掺杂氧化锌反转畴内金属亚晶格位移场测量
关键词：球差校正电镜，位移场，掺杂化合物
发表文章：Displacement field measurement of metal sub-lattice in inversion domains of indium-doped zinc oxide
发表期刊：Ultramicroscopy
原文链接：https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2009.11.023
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员借助 Gentle Mill 离子精修仪制备了超薄、清洁的非均相氧化物样品，并对其金属内亚晶格位移场进行了测量。该研究中，Gentle Mill 利用低电压离子束（1 keV Ar+离子）对样品进行双面精修，确保了样品的超薄厚度和高质量，为后续的高分辨率成像和分析提供了有力支持。
04. 使用低电压进行原子尺度的元素 mapping
关键词：EELS，高分辨 mapping，STEM，多层切片计算
发表文章：Elemental mapping at the atomic scale using low accelerating voltages
发表期刊：Ultramicroscopy
原文链接：https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2010.03.008
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员使用 Gentle Mill 离子精修仪制备了超薄、清洁的 SrTiO3（STO）样品，并通过 EELS 技术对其进行了原子尺度的元素 mapping 分析。Gentle Mill 在该研究中用于对样品进行最终的离子束抛光，确保了样品的高质量和分析结果的精确性。
05. 碳含量对奥氏体/ε-马氏体双相 Fe-Mn-C 钢的微结构、马氏体转变和力学性能的影响
关键词：高锰钢，变形诱导的马氏体，TEM，EBSD
发表文章：Influence of carbon content on the microstructure,martensitic transformation and mechanical properties in austenite/e-martensite dual-phase Fe–Mn–C steels
发表期刊：Acta Materialia
原文链接：https://doi.org/10.1016/j.actamat.2012.09.078
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员借助 Gentle Mill 离子精修仪清除了钢铁FIB 样品上的 Ga 离子污染，从而对其结构、相变和性能进行了准确、可靠的研究。该研究中，Gentle Mill 利用低能量离子束（0.5 kV）对样品表面进行了精修，有效去除了 FIB 加工过程中产生的 Ga 离子污染，为后续的高分辨率成像和分析提供了清洁的样品。
06. 使用 STEM 进行皮米精度的局域晶体结构分析
关键词：STEM，晶体结构分析，环形暗场像
发表文章：Local crystal structure analysis with several picometer precision using scanning transmission electron microscopy
发表期刊：Ultramicroscopy
原文链接：https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2009.11.014
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员利用 Gentle Mill 离子精修仪制备了超薄的 TmFeO3 样品，并对其局域晶体结构进行了皮米精度的分析。Gentle Mill 在该研究中用于对样品进行机械减薄和低电压离子束精修，确保了样品的超薄厚度和高质量，为后续的高分辨率 STEM 分析提供了有力支持。
07. Sm 掺杂 BiFeO3 铁电外延薄膜中反极性团簇的纳米级结构和化学性质
关键词：纳米结构，反极性团簇，铁电薄膜
发表文章：Nanoscale Structural and Chemical Properties of Antipolar Clusters in Sm-Doped BiFeO3 Ferroelectric Epitaxial Thin Films
发表期刊：CHEMISTRY OFMATERIALS
原文链接：https://doi.org/10.1021/cm903618y
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员借助 Gentle Mill 离子精修仪制备了清洁的掺杂 BiFeO3 外延薄膜，从而研究了其纳米级结构和化学性质。Gentle Mill 在该研究中用于对样品进行双面精修，确保了样品的清洁度和高质量，为后续的高分辨率 STEM 分析提供了有力支持。
08. 为透射电镜开发的单色器的实践工作
关键词：单色器，EELS，空间分辨率
发表文章：Practical aspects of monochromators developed for transmission electron microscopy
发表期刊：Microscopy
原文链接：doi: 10.1093/jmicro/dfu027
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
借助 Gentle Mill 离子精修仪，研究人员可以制备清洁的 STO 样品，从而检验透射电镜单色器的实际效果。
09. 探索实空间中原子内部电荷密度分布
关键词：球差矫正STEM，DPC，电场像，GaN
发表文章：Probing the Internal Atomic Charge Density Distributions in Real Space
发表期刊：ACS Nano
原文链接：https://doi.org/10.1021/acsnano.8b03712
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员利用 Gentle Mill 离子精修仪制备了超薄、清洁的 GaN 样品，并探索了其内部的电荷密度分布。Gentle Mill 在该研究中用于对样品进行离子束精修，确保了样品的高质量和分析结果的可靠性。
10. 平衡态 Ni–Al2O3 界面处固-固界面重构
关键词：界面能，界面结构，TEM，重构
发表文章：Solid–solid interface reconstruction at equilibrated Ni–Al2O3 interfaces
发表期刊：Acta Materialia
原文链接：https://doi.org/10.1016/j.actamat.2012.04.037
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
科学家们借助 Gentle Mill 离子精修仪制备了超薄、清洁的 Ni–Al2O样品，并研究了其固-固界面的重构行为。Gentle Mill 在该研究中用于对样品进行低电压离子抛光，确保了样品的高质量和分析结果的可靠性。
11. 关联 APT 和 STEM 研究揭示了含 Al 和 Gd 的 Mg 合金中 LPSO 相的生长序列
关键词：APT，关联成像，Mg合金，长程堆叠有序（LPSO）
发表文章：Correlative atom probe tomography and scanning transmission electron microscopy reveal growth sequence of LPSO phase in Mg alloy containing Al and Gd
发表期刊：Scientific Reports
原文链接：https://doi.org/10.1038/s41598-021-82705-3
使用仪器型号：Technoorg Linda Gentle Mill 离子精修仪
研究人员利用 Gentle Mill 离子精修仪去除 TEM/STEM 观察时的污染物，制备了清洁的 Mg 合金针尖，并进行了关联的 APT 研究，从而揭示了其生长序列。Gentle Mill 在该研究中用于对样品进行低能量离子束精修，确保了样品的清洁度和高质量，为后续的高分辨率成像和分析提供了有力支持。
Technoorg Linda 公司生产的 Gentle Mill 离子精修仪凭借其低能量离子束技术和高效精修能力，已成为材料科学领域不可或缺的工具。通过上述 11 篇文献的精选，我们可以看到 Gentle Mill 在多种材料的微观结构和性能研究中发挥了重要作用，为科学家们提供了高质量、清洁的样品，助力他们在原子级分辨率下实现精确的成像和分析。无论是在金属氧化物、半导体材料还是合金体系中，Gentle Mill 都展现出了卓越的性能和可靠性，为材料科学的前沿研究提供了有力支持。
Gentle Mill 离子精修仪--用于FIB样品处理
Gentle Mill 离子精修仪产品采用氩离子束，专为最终抛光、精修和改善 FIB 处理后的样品而设计。Gentle Mill 型号非常适合要求样品无加工痕迹、表面几乎没有任何损坏的 XTEM、HRTEM 或 STEM 的用户。其配备了专利设计的低能氩离子枪，离子束能量最低可达 100eV，可把非晶层厚度精修到 1nm 以下，获得样品的真实信息。
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