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离子研磨仪在半导体失效分析中的应用案例分享
作者：复纳科技
行业：电子半导体
产品： SEMPrep2 离子研磨仪
关键词：失效分析；离子束技术；SEM 样品制备
日期：2022-04-04
失效分析是对于电子元件失效原因进行诊断，在进行失效分析的过程中，往往需要借助仪器设备，以及化学类手段进行分析，以确认失效模式，判断失效原因，研究失效机理，提出改善预防措施。其方法可以分为有损分析，无损分析，物理分析，化学分析等。其中在进行微观形貌检测的时候，尤其是需要观察断面或者内部结构时，需要用到离子研磨仪+扫描电镜结合法，来进行失效分析研究。
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