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本文介绍了不同导电和非导电材料的氩离子抛光,然后进行高分辨率 EBSD 测量。研究展示了 SEMPrep 离子研磨仪设备的工作原理及其出色的性能。同时研究了菊池图案的图像质量 (IQ) 数作为抛光角度和时间的函数,以便找到最佳抛光条件。 研究表明使用最佳操作参数可以在不同的金属和非金属材料上获得高质量的表面。
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