清洁度检测

Cu、Zn 异物及铁磁性异物检测

全自动分析 7x24h

符合 ISO16232，VDA19 标准

全自动检测 SiO₂，Al₂O₃ 等硬质颗粒

一体化钢中非金属夹杂物分析

行业标准：符合 VDA19 / ISO16232

快速简便：2.5 分钟内完成过滤分析并生成报告

绝对可靠：10 年内零维修案例

“零”维护：自行校准，自动生成审计报告

符合 ISO 14644-9 标准

检测范围：可检测低至 0.5 um 颗粒

稳定：90% 采集效率 | >90% 重复性

快速：10 秒完成检测

数据输出及可视化：符合 ISO 14644-17 标准

高通量检测：可检测低至 0.5 um 颗粒

快速：10 秒完成 2 英寸面积检测

定量：适用于生产与研发环境的验证与监测

高通量检测：每小时可检测 400 片晶圆

最小检测颗粒：200 nm

尺寸：支持 4/6/8/12 英寸晶圆

位置精度：重复定位精度 15 um

检测：同时检测正反两面，无需翻面

每小时可检测 400 片晶圆（WPH）

数据输出：根据 ISO 14644-9 标准

正反两面检测：单次测量中完成正反两面检测（无需翻转）

检测范围：能够检测 ≥ 0.2µm 聚苯乙烯乳胶（PSL）等效颗粒（经 NIST 认证）