原子制造

聚焦新兴原子制造技术在MEMS，能源材料及器件中的应用，涵盖无掩膜微纳增材/减材制造、空间/颗粒原子层沉积与表面工程等独特技术路径，关注其科研及产业价值。

咨询技术方案

产品系列

ALD 线 (7)

PROMETHEUS XL 流化床 ALD

Forge Nano Prometheus XL 系统单次处理量达 2-20L（依粉末密度可达 10kg 以上），全球首创大容量流化床反应器，结合振动与高剪切射流技术，彻底解决粉末团聚难题，实现超均匀包覆。

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Prometheus 流化床 ALD

Prometheus 粉末原子层沉积(ALD)设备非常适合对粉末进行精密、保形的纳米包覆，一次性可包覆 0.1g-1kg 的粉末量。

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Pandora 旋转床 ALD

Pandora 是实验科研级的原子层沉积(ALD)设备，可实现平面样品和粉末样品的纳米涂层包覆。

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定制生产型 ALD 系统

Forge Nano 可提供百吨至千吨级的粉末原子层沉积设备，温度范围最高可达 400℃，同时可提供定制化的粉末包覆方案。

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LabLine™ 卷对卷 ALD 系统

提供业界领先的空间原子层沉积 (空间 ALD) 系统，兼具卓越的薄膜质量、最快的沉积速度和无与伦比的灵活性。

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Omega™ 高速卷对卷空间 ALD

可实现柔性薄膜卷材的工业化生产，产品范围涵盖锂离子电池到钙钛矿太阳能电池等

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LITE 标准版原子层沉积打印系统

首台台式直接原子层打印设备，专为快速原型设计和新设备结构的开发而设计

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纳米沉积线 (3)

VSP-P1 纳米印刷沉积

实现从稀疏团簇到厚达几微米的连续层的纳米打印

打印不同的图案

自动化数据监测及记录

无墨水气溶胶直写沉积

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VSP-G1 纳米颗粒发生器

生成稳定且干净的纳米级气溶胶颗粒

提供多个气路接口与其它配件互联

提供多样化的材料合成可能性

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VSP-A 颗粒扩散、过滤、冲压

VSP-A1 扩散配件：避免颗粒团聚粒，均匀扩散后沉积到基材

VSP-A2 过滤配件：基于过滤基材的设置，获得所需的颗粒沉积

VSP-A3 冲压配件：通过气压加速颗粒前进速度，形成纳米颗粒薄膜

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案例展示

太空电池

氢能与燃料电池

气体传感器

锂电池

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产品系列

PROMETHEUS XL 流化床 ALD

Prometheus 流化床 ALD

Pandora 旋转床 ALD

定制生产型 ALD 系统

LabLine™ 卷对卷 ALD 系统

Omega™ 高速卷对卷空间 ALD

LITE 标准版原子层沉积打印系统

VSP-P1 纳米印刷沉积

VSP-G1 纳米颗粒发生器

VSP-A 颗粒扩散、过滤、冲压

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